マイクロスコープで測定をする場合、精度がどの程度なのでしょうか。

実際には、画像計測ソフト上で、測定者がカーソルをクリックして校正を行います。測定も測定者がカーソルを移動させて測定物のエッジをとらえてクリックしますので、人的な熟練度により精度は変化します。

当社のDS-３Aでご説明します。

まずマイクロスコープの測定原理は比較測定です。比較測定ですから測定したい長さと同程度のラインを引いてその値を校正値とすることが精度的には有利です。

DS-３Aで５０倍と１５０倍で校正用のガラススケールの距離を測定してみました。

５０倍は２０００ミクロンで校正した後、同じ長さを測定しました。結果は約１０ミクロン程度の誤差がでました。

１５０倍は１０００ミクロンで校正した後、同じ長さを測定しました。結果は約１０ミクロン程度の誤差がでました。

あくまで今回は校正したガラススケールを使いましたので、条件としてはいいです。被写体におけるエッジの判別が容易であるか、また測定したいサンプルの平面度合い等も影響します。これらの条件により測定者がクリックする位置の再現性などの条件で精度は変わってきます。